小编整理:
硅晶圆是一种硅半导体电路制作所用的硅晶片,通常是由多晶硅经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序制成的单晶硅晶棒切割而成。它是制造积体电路的石英半导体的材料之一,通常用作于制造集成电路和分立器件等。硅晶圆:晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。 中文名 | 硅晶圆 |
程序 | 照相制版,研磨,抛光,切片 |
释义 | 硅半导体电路制作所用的硅晶片 |
晶圆 | 硅元素加以纯化(99.999%) |
硅晶圆的生产过程
我们会听到几寸的晶圆厂,如果硅晶圆的直径越大,代表著这座晶圆厂有较好的技术。另外还有scaling技术可以将电晶体与导线的尺寸缩小,这两种方式都可以在一片晶圆上,制作出更多的硅晶粒,提高品质与降低成本。所以这代表6寸、8寸、12寸晶圆当中,12寸晶圆有较高的产能。当然,生产晶圆的过程当中,良品率是很重要的条件。硅晶圆就是指硅半导体电路制作所用的硅晶片,晶圆是制造IC的基本原料。
[1] 一文看懂什么是硅晶圆_制造 · 搜狐[引用日期2021-08-22]