简介

1.别名·英文名

二氯硅烷；DichIorosilane．

2.用途：

电子气、外延、化学气相淀积。

3.制法：

(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。

(2)在高温下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。

理化性质

分子量： 101.010

熔点： -122.0℃

沸点(101.325kPa)： 8.2℃

液体密度(0℃，101.325kPa)：1220kg/m

气体密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m

相对密度(气体，空气=1，25℃，101.325kPa)：3.52

比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.2391m³/kg

气液容积比(15℃，100kPa) 290L/L

临界温度： 176.0℃

临界压力：4676kPa

临界密度：463kg/m3

气化热(8.4℃，101.325kPa)：249.kJ/kg

比热容(25℃，气体)：Cp=611.27J/(kg·K)

蒸气压 (-20℃)：31.4kPa

(0℃)： 81.1kPa

(20℃)：167.2kPa

粘度(气体，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s

表面张力(20℃)：11.9mN/m

空气中爆炸极限(20℃，101.325kPa)： 4.1%～98.8%(体积)

自燃点：：111°F(44℃)

毒性

有毒气体范围： >0.25ppm

嗅觉浓度： ～1ppm

刺激性浓度： ～10ppm

最高容许浓度： 0.5ppm(2mg/m)

二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。因此，人吸入后激烈刺激呼吸道，引起呛咳、呼吸道发炎、喉痉挛和肺水肿。触到眼睛可引起流泪并导致眼灼伤。接触皮肤可引起化学烧伤。液态二氯硅烷也可引起冷烧伤。

安全防护

可把二氯硅烷看作火源，禁止在任何火灾危险区存放钢瓶或敷设二氯硅烷的管道。气体用钢瓶贮装，钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室外或强制通风的室内，要远离氧化剂、火源和热源。设备管道等使用前须脱水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息性气味来检漏。所有设备管道要接地。设备或装置暂时不用或延长停产时间时，应把二氯硅烷放出来，充入干燥的惰性气体。

有水分时二氯硅烷呈强酸性，腐蚀性极强。对无水二氯硅烷可用铁、低合金钢、镍钢、铜镍合金、镍、海帕伦、蒙乃尔、银、金、铂、钽。不能用铝、铝合金、铜硅合金、黄铜等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、天然橡胶、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃烧的地方避免使用可燃性材料。

当发生火灾时，首先要关闭气瓶阀，断绝气源。灭火时，如果用水，则产生大量氯化氢，如果用碱性粉末，则产生氢气，因此这两者都不可用。可以用二氧化碳和砂子。

废气可用水或苛性钾等碱液吸收，可以用相应的吸附剂吸附，也可以在严格控制下燃烧。