质谱分析方法是利用质谱仪测定各种元素的同位素质量和相对丰度的方法。质谱仪由离子源、分析器和收集器三部分组成。样品先在气体放电管内被加热形成离子，之后样品离子通过几道狭缝进行速度筛选。通过最后一道狭缝的离子均具有恒定的速度。具有恒定速度的离子进入分析器后受到外加磁场的作用，它们将作圆周运动。